PTFE風囊泵、PFA氣動隔膜閥丨華林科納參展產品

5月18日-5月19日，由華林科納舉辦的2023泛半導體濕法交流會第五期：化學流體系統技術與應用交流會在江蘇南通市成功召開。會議共邀請42家企業參會，參會人員96人。本期交流會安排了學術技術交流報告、流體展示及實操等多種形式的活動，交流高純流體在濕法領域的技術與應用，并展示了超100種高純流體產品。

華林科納此次展廳參展產品包括PFA管（耐鹽酸）、PFA入珠接頭、PFA擴口接頭、PFA焊接接頭、PFA手動隔膜閥、PVDF過濾器，PFA磁制液位伸縮計、PFA溫度探頭、PFA加熱絲、PTFE風囊泵、在線加熱器等多種產品，并向參會人員展現實時潔凈車間生產，獲得了業內人士的認可。

PTFE風囊泵

風囊泵工作原理：壓縮空氣進入泵的氣相工作腔后，壓縮風囊變形移動，通過換向閥控制壓縮空氣依次進入兩個氣相工作腔工作，利用液相腔的交替吸液排液，實現對液體的輸送。

華林科納自主研發PTFE風囊泵，有CSE30、CSE60、CSE120三種型號，無金屬設計，安全無泄漏，無橡膠O型圈，不漏水，無需緊固，可滿足200萬以上的形成周期使用。

風囊泵在濕法腐蝕清洗設備中主要有以下應用：

（1）藥液恒溫控制：由風囊泵、循環溢流槽、閥門、過濾器、管件、熱交換器，制冷機或加熱器等組成溫度控制系統。通過泵使藥液循環并在熱交換器內進行熱交換用以實現藥液的恒溫控制。

（2）藥液的循環過濾：由風囊泵、循環溢流槽、閥門、過濾器、管件等組成藥液的循環過濾系統。實現藥液的循環過濾，均勻流場。保證工藝槽藥液溫度和濃度的均勻性。

（3）廢液回收和再利用：120℃以上強腐蝕性藥液（如SPM）使用后廢液如直接從工藝槽排至廢液管道，由于溫度高，將導致排液管道的損壞，引起安全事故，采用工藝槽內自然冷卻的方法又耗時過長，影響生產效率。一般采用高溫風囊泵將槽內藥液輸送至降溫槽，在降溫槽內降溫后再排入排廢管道，這種方法即節省了時間，又保證了生產的安全性，被業界所廣泛采用。

PFA氣動隔膜閥

選擇閥門需要考慮的因素：

工作和環境溫度、工作壓力和壓力等級、體積流量（Kv值）和流速、其他性能要求，例如混合、分配、控制和調節應用；

化學性質（惰性、腐蝕性、爆炸性）、機械性能（污染物、顆粒、氣泡形成、磨損、粘度）、電性能（電導率、靜電荷）、聚合狀態；

所需的控制功能（手動、氣動/液壓、電動、磁力）；安全要求（防爆、危險揮發性物質、應急功能）、環境條件（潔凈室、熱/冷、多塵、振動、化學、潮濕、戶外、鹽水和腐蝕性蒸汽 => 腐蝕性環境條件）、現有工廠設計（PLC、現場總線/通信接口、控制介質）、遵守標準和法規。

流體的特定屬性必須根據其所有相關的物理和化學屬性進行檢查。此外，不應忽視潛在的相互作用，例如溫度、壓力或基于濃度的攻擊性之間的相互作用。

華林科納自主研發的PFA氣動隔膜閥采用高流量緊湊型設計，具有優良的耐腐蝕性能，工作周期經上千萬次測試，使用壽命長，潔凈室制造，純度高。連接尺寸有1/2”、3/4”、1”，閥門本體材質為PFA，膜片材質為PTFE，頂部外殼材質為PE。

氣動隔膜閥產品概要：

隔膜閥減少了隔膜和閥體之間的環形間隙，產品可應用于電子半導體行業、生物化學產業、醫藥制品生產線、石油化工產業、化學藥劑產業。

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