加強技術研發和成果轉化 安徽為半導體材料穿上“保護衣”

作為全球科技發展的重要領域，半導體制造產業一直備受關注，其國產替代也成為一片創業熱土。

近日，記者走進位于安徽中韓 (池州)國際合作半導體產業園的安徽高芯眾科半導體有限公司，車間里熔射機械手正在操作平臺上有序高效地運轉，一塊塊硅制品零部件隨之披上“保護衣”。

“這是公司自主研發的半導體精密涂層技術，精密特殊涂層可以使基材和晶圓等核心材料免受等離子的物理打擊，提高產品良率，延長零部件使用壽命。”公司營業部部長劉洪剛介紹，“隨著工藝不斷精進，特殊涂層成為控制反應腔穩定的最重要因素，精密涂層業務也成為半導體及液晶面板行業不可或缺的工序之一。 ”

據了解，半導體產業鏈分工明確，以芯片為例，通常分為芯片設計、芯片制造、芯片封裝等環節，高芯眾科就是第二類即為制造型半導體廠商提供精密核心零部件、零部件特殊涂層(表面處理)等產品及提供真空腔體綜合解決方案服務。 2021年，高芯眾科二期工廠投產，擁有高端智能化產線9條，能同時為集成電路和面板行業頭部企業提供產品和服務，當年產值達到8110萬元。

如今，半導體及液晶面板相關的所有高端核心設備約90%來自國外，除購買設備的費用外，后續的設備運維均在國外進行。而高芯眾科提供的電極新品制造和再生服務，可為國內液晶面板廠商節約不少生產成本。

“我們要打破國外技術壟斷，做真正的國產替代。現在公司在液晶面板核心設備零部件下部電極和上部電極制造及再生技術領域已實現100%國產化。 ”劉洪剛說，高芯眾科作為能夠生產下部電極的國產替代公司，很早就投身于硅材料零部件的精密制造技術研發。目前，公司無需依賴進口就能提供12寸7納米制程的芯片制造的硅制品零部件，并能大大縮減這一零部件的交付期限。

國外電極涂層的平均交付期為60天至80天，疫情影響下，由國外進口的電極涂層交付期更是延長到85天至120天，而高芯眾科僅需30天至40天。

高芯眾科能取得這樣的成果，主要得益于公司團隊深遠的戰略謀劃。“我們一直專注于半導體真空腔體零部件制造、精密涂層研發，所以一些問題看得比較早，方向也看得更清楚些。 ”高芯眾科董事長辛長林說。

組建人才隊伍 加強技術研發和成果轉化

2015年，高芯眾科成立后開始對半導體真空腔體零部件制造、精密特殊涂層建立了三條產線進行研發、測試。經過5年在關鍵核心技術上全力攻堅，2020年，高芯眾科開始將產線小批量推向市場，2021年逐步開始大批量生產。

高芯眾科一直將技術研發和創新作為自身發展的生命線，公司的融資主要用于新品研發、市場拓展、新基地建設和國外研發中心建設等項目。“自主生產工藝要達到80%至90%，甚至達到100%才是真正的國產化，我們就是想要做真正的國產替代。 ”辛長林表示。截至去年年底，該公司已獲得授權的發明專利2項，實用新型專利23項，已經受理的發明專利5項，今年已申請發明專利12項，實用新型專利25項。

除了大量的研發資金投入，人才更是關鍵“突破口”。高芯眾科在公司成立前就非常重視研發團隊建設，2014年由半導體行業資深人士組成的“先鋒隊”開始了半導體領域的市場調研和技術積累，公司發展前期也是先引進國外技術，再由公司內部組建的人才隊伍進行研發、升級，在弄通“卡脖子”技術的基礎理論和技術原理上再次創新。目前，高芯眾科的核心技術研發團隊已有30余人。

該公司技術總監崔炳日是引進人才，他告訴記者：“剛來這里時，面對陌生環境還不太能適應，好在公司幫我們解決了不少難題，不僅依據韓國人的生活習慣對我們悉心照顧，還開展日常活動幫助我們迅速融入，這樣我們可以心無旁騖鉆研技術。 ”

“人才公寓、資金資助……我們采取種種措施用來吸引人才，從某種意義上來說，留住人才才能把關鍵核心技術掌握在自己手中，從而實現更多 ‘從0到1’的突破。 ”公司技術部部長姜勇鶴說，“我們公司在技術開發上引進了很多外來優秀人才，他們不僅帶來多年的工作經驗，還成為了提升核心部件自主研制能力的生力軍。 ”

2021年，半導體真空腔體零部件制造、再生行業快速發展。公司決定開展“利用高強度等離子液晶面板干刻設備電極涂層提高效率技術研發”的專項技術攻關，滿足該領域對精密涂層技術的迫切需求。

“研發團隊承擔任務后，經過近一年的技術攻關，順利完成三項技術創新，并在小試和中試中都獲得成功，這些技術成果很快轉化到生產中，提升了產品的良率，降低了生產成本，產品銷售收入較2020年相比增長將近3倍。 ”姜勇鶴說。

優化產業生態 產業集聚激發企業活力

“2015年底我們一期項目僅用70天時間完成建廠并順利投產。”說起與池州的結緣，辛長林頗有感慨，在政府各項利好政策的扶持下，幾年來公司的產值已經翻了幾番。目前，公司與京東方集團、維信諾、中芯國際等知名企業建立了良好的合作關系，與部分國外企業也是戰略合作伙伴。

近年來，池州市委、市政府將半導體產業集聚發展基地建設作為“一號工程”“一把手工程”，致力推進營商環境改革和企業培育幫扶，促使一幫骨干企業快速成長壯大，半導體集群化發展態勢明顯。

“管委會對于入駐基地的半導體產業項目專門制定了相應的優惠政策，除享受中央、省、市出臺的各項惠企政策和‘九通一平’基礎設施配套服務外，所施行的標準化廠房租賃、企業公租房和半導體企業自行裝修潔凈廠房補貼政策，將有效降低中小企業落地成本，提升企業入駐率。”池州市經開區投資促進局工作人員介紹。

“池州市還成立半導體行業協會，發揮行業龍頭作用，激發企業內生動力，帶動產業鏈和產業生態建設。池州半導體協會全過程參與兩輪半導體產業規劃編制，制定適合我們發展的政策;整合行業內3個省級科創平臺建設半導體產業協同創新中心，牽線園區在上海、北京、深圳等地設立‘創新飛地’，促進研發成果產業化;依托半導體協會，我們積極加入國家級、省級商協會，爭取擴大范圍嫁接資源、嵌入產業鏈供應鏈。 ”劉洪剛說。

“希望有更多的上下游企業入駐基地。企業抱團發展有很大優勢，不僅能減少彼此間運輸等成本，還能共享設備、訂單、用工等資源，給我們帶來更多機遇。 ”辛長林直言，在切身感受到良好的投資環境后，他經常主動跟朋友推介池州。在他的引薦下，已經有10多家企業來到半導體產業基地考察。

基地里，像高芯眾科這樣的高新技術企業不勝枚舉。目前，池州市半導體行業集聚規上企業49家，初步形成從IC設計、晶圓制造、封裝測試到材料裝備、智慧應用的產業鏈條。

“現在客戶很重視國內供貨穩定的零部件企業。 ”辛長林明顯感覺到，無論是政策走向還是投資人動向都將更多目光聚焦于半導體行業。“池州市堅持高位推動，不斷加強半導體產業發展的頂層設計和統籌推進，半導體產業鏈越趨完整，我們在這里發展也更有信心! ”(記者 阮孟玥)

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關鍵詞： 國外技術壟斷 高芯眾科 半導體材料 成果轉化